Mikrosystemer er små systemer som forbinder den fysiske og den digitale verden. Et mikrosystem består typisk av en sensor som gjør målinger av omgivelsene, en enhet for dataprosessering og en aktuator som utfører en handling basert på måledataene. Nanoteknologi brukes ofte i mikrosystemene for å øke funksjonaliteten og for å forbedre ytelsen.